铬靶材铬靶块等高纯铬靶的发展情况

最后更新 :2022.04.08

高纯铬靶的目标晶粒尺寸和分布:通常,靶材材料具有多晶结构,并且晶粒尺寸可以在微米到毫米的数量级上。对于相同组成的靶材,细粒靶材的溅射速率比粗粒高纯度铬靶材的溅射速率快,而晶粒尺寸较小的靶材具有更均匀的沉积膜厚度分布。

通过真空熔融法制造的靶材可以确保块中没有孔,但是通过粉末冶金法制造的高纯铬靶可能包含一定数量的孔。 孔的存在会在溅射过程中引起异常放电,从而导致杂质颗粒。 另外,由于其密度低,带孔的目标在操作,运输,安装和操作过程中很容易破碎。

打孔铬靶

铬靶厂家告诉你,铬靶靶材的加工工艺:用于集成电路制造的溅射靶材的加工技术主要包括熔炼,均质化,压力加工和机械加工。 在严格控制靶材纯度的基础上,铬靶材,铌靶材和钛铝靶材可以通过优化压力处理工艺,热处理条件和机械加工条件来调节靶材的晶粒取向和晶粒尺寸。

高纯铬靶的靶材杂质控制:如果靶材中的夹杂物过多,则在溅射过程中晶圆上可能会形成颗粒,导致互连短路或断开,严重影响性能。 高纯铬靶中的大多数夹杂物是在冶炼和铸造过程中形成的,主要由氧化物组成,但也包括氮化物,碳化物,氢化物,硫化物,硅化物等,因此应在铸造过程中使用 。高纯铬靶铸造前,应将熔体表面的氧化物和其他炉渣清除。 通常,它们在真空或无氧环境中熔融并浇铸。 市场上铬靶价格也有所不同。

- END -

钛管在舰船冷凝器中的应用前景

引 言舰船冷凝器是保证舰船核动力装置及蒸汽动力装置正常运转所不可缺少的重要组成部件,...

永益钛谈钛法兰的常用规格与性能特征

钛法兰是一种用非铁或钛合金连接管结构。钛法兰有孔,两个法兰紧密相连。法兰盘用垫片密封...